1) Wafer Stage
工件台
1.
Design and Manufacture on Precision Positioning System of Wafer Stage for a Simulated Macro-motion System of Lithography;
用于光刻机模拟运动的精密工件台宏动定位系统研制
2.
An nm-level positioning precision is required in the process of scanning and exposing the wafer stage of lithography.
光刻机工件台在扫描曝光过程中要求纳米级的定位精度,采用长行程直线电机粗动加洛仑兹电机高精密微动补偿的6自由度复合运动系统能满足要求。
3.
A novel in-situ non-flatness measurement method of wafer stage mirrors in a step-and scan lithographic tool is presented.
提出一种新的步进扫描投影光刻机工件台方镜不平度测量方法。
2) Stage
[英][steɪdʒ] [美][stedʒ]
工件台
1.
Research on Multi-dimension Laser Measure System of Ultra-precision Stages;
超精密工件台多维激光测量系统研究
2.
Investigations of Precision Fast Positioning Stage for Wafer Stepper;
分步重复投影光刻机精密快速定位工件台研究
3.
The configuration,technology solutions and all performances of laser stage system for E-beam lithography machine were described.
介绍了nm级电子束曝光机激光定位精密工件台系统的结构组成、各部分技术措施及总体性能指标。
3) vacuum stage
真空工件台
4) working table casting
工作台铸件
1.
Numerical simulation of solidification for working table casting has been carried on by finite element method.
采用有限元技术对工作台铸件凝固过程温度场进行了数值模拟,得到了瞬态温度场和温度梯度场分布图。
5) X-Y workpiece stage
X-Y工件台
1.
According to the characteristics of craft parameters of high-speed precision positioning X-Y workpiece stage,the dynamic state accuracy was analyzed,including the step function time response,the frequency response,and the dynamic stiffness kD of the system.
根据高速精密X-Y工件台的工艺参数的特点,对高速精密定位X-Y工件台的动态精度进行分析,包括阶跃输入时间响应、频率响应、系统的动刚度kD的分析。
6) substrate table rotation rate
工件台转速
1.
MoS2-Ti composite coating was deposited by unbalanced magnetron sputtering system,the effect of substrate table rotation rate on its structure and mechanical performance was studied.
采用非平衡磁控溅射沉积技术制备MoS2-Ti复合薄膜,研究了工件台转速对薄膜的结构和性能的影响。
补充资料：工件安装及所用附件
在车床上安装工件所用的附件有三爪卡盘、四爪卡盘、顶尖、花盘、心轴、中心架和跟刀架等。安装工件的主要要求是位置准确、装夹牢固。
一、三爪卡盘安装工件
三爪卡盘是车床上应用最广的通用夹具，适合于安装短圆棒料或盘类（直径较大的盘状工件中，可用反三爪夹持）工件，它的结构见示范教具。当转动小伞齿轮时，大锥齿轮便转动，它背面的平面螺纹就使三个卡爪同时向中心靠近或退出，以夹紧不同直径的工件。三爪卡盘装夹方便能自动定心，但其定心准确度不高，约为0.05～0.15mm。工件上同轴度要求较高的表面应在一次装夹中车出。
二、四爪卡盘安装工件
四爪卡盘的结构见直观教具。四爪卡盘有四个互不相关的卡爪，各卡爪的背面有一半瓣内螺纹与一螺杆相啮合。螺杆端部有一方孔，当用卡盘扳手转动某一螺杆时，相应的卡爪即可移动。如将卡爪调转180°安装，即成反爪。
四爪卡盘由于四个卡爪均可独立移动，因此可安装截面为方形、长方形、椭圆以及其它不规则形状的工件。同时，四爪卡盘比三爪卡盘的夹紧力大，所以常用来安装较大的圆形工件。
由于四爪卡盘的四个卡爪是独立移动的，在安装工件时须进行仔细的找正工件，一般用划针盘按工件内外圆表面或预先划出的加工线找正，其定位精度较低，为0.2～0.5mm。用百分表按工件精加工表面找正，其定位精度可达0.02～0.01mm。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条