1) Dual ion beam deposition

双离子束淀积
2) dual-ion sputtering deposition

双离子束溅射淀积
3) Ion beam assisted deposition

离子束辅助淀积
1.
Ion beam assisted deposition of infrared wideband antireflection coating on micro optical components used in low temperature;
离子束辅助淀积低温微光学元件红外宽带增透膜
4) ion sputtering deposition

离子束溅射淀积
5) ion beam reaction deposition

离子束反应淀积
6) ionized-cluster beam deposition

离子团束淀积
补充资料:双低能离子束薄膜淀积设备
双低能离子束薄膜淀积设备
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参考词条