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1)  Dual ion beam deposition
双离子束淀积
2)  dual-ion sputtering deposition
双离子束溅射淀积
3)  Ion beam assisted deposition
离子束辅助淀积
1.
Ion beam assisted deposition of infrared wideband antireflection coating on micro optical components used in low temperature;
离子束辅助淀积低温微光学元件红外宽带增透膜
4)  ion sputtering deposition
离子束溅射淀积
5)  ion beam reaction deposition
离子束反应淀积
6)  ionized-cluster beam deposition
离子团束淀积
补充资料:双低能离子束薄膜淀积设备


双低能离子束薄膜淀积设备


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