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1)  micro-accelerometer
微加速度计
1.
Optimization and Simulation of a Multi-finger Micro-accelerometer;
梳齿式微加速度计优化设计与仿真分析
2.
Performance analysis on captive silicon micro-accelerometer system;
电容式硅微加速度计系统的性能分析(英文)
3.
Analysis of coupled electrostatic-mechanical field for interdigital micro-accelerometer;
叉指式微加速度计静电-机械耦合场分析
2)  micro accelerometer
微加速度计
1.
Pull-in failures of electrostatic force feedback micro accelerometers;
静电力反馈微加速度计的吸合失效
2.
Design of modified comb filter in Sigma-Delta micro accelerometer
Sigma-Delta微加速度计改进型梳状滤波器的设计
3.
A calculation and test method for natural frequency of high-gn micro accelerometer with complex structures is put forward.
为了解决压阻式加速度计的动态特性欠佳的共性,避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏,在结构设计过程中选择合理固有频率是至关重要的。
3)  microaccelerometer
微加速度计
1.
Shock calibration of piezoresistive high-g_n microaccelerometer;
压阻式高量程微加速度计的冲击校准
2.
Vibrometer based on MEMS microaccelerometer;
基于MEMS微加速度计的振动测试仪
3.
The circuit and program for setting its parameters were designed,and a detection circuit for a capacitive comb microaccelerometer was designed using MS3110,and EMC design was made for the detection circuit.
介绍了电容检测芯片MS3110的内部结构与基本原理,设计了MS3110的参数设置电路与程序,并利用MS3110设计了某插齿式电容微加速度计的信号检测电路,并对检测电路的电磁兼容性进行了专门设计,在转台上对该微加速度计的性能进行了测试,测试结果表明:该微加速度计的测量线性度为1。
4)  micro-machined accelerometer
微加速度计
1.
Focused on signal measurement of resonance micro-machined accelerometer, the article introduces a new measuring method of weak signal, and designs relative differential frequency measurement circuit.
本文针对谐振式微加速度计微弱信号的检测问题,提出了一种新的微弱信号的检测方法,并且设计了相关的差分频率检测电路,该电路简单、精度高、易于集成、抗干扰性好,具有广阔的应用前景。
2.
In this paper, mainly design the interface circuit of Micro-machined Accelerometer, analyze and design the circuit models in lower level.
本文主要对微加速度计的信号检测电路进行了研究,并对电路模块进行了底层的分析和设计。
3.
Compared to general accelerometers, the micro-machined accelerometer is preferred in measuring the acceleration of bullet, for longer life, higher reliability, lower cost and smaller volume.
本文建立了经典内弹道模型,计算得出了火炮膛内火药燃气压力及弹丸运动速度、加速度随时间的变化规律,为设计弹装微加速度计提供了初始数据。
5)  MEMS accelerometer
微机械加速度计
1.
Automatic measuring system of MEMS accelerometer;
微机械加速度计自动测试系统
2.
Digital integrated interface of MEMS accelerometer;
微机械加速度计的集成化数字接口
3.
The output of MEMS accelerometer is influenced by the environment temperature.
微机械加速度计的输出受到环境温度的影响。
6)  micromechanical resonant accelerometer
微机械加速度计
1.
This paper studies the mechanics of micromechanical resonant accelerometer,and creates the mathematical model of the first-level sensing structure,lever structure and the second-level sensing structure.
谐振式微机械加速度计直接输出频率信号,具有稳定性好、精度高的特点。
2.
This paper analyses the work mechanism of Si-based micromechanical resonant accelerometer,presents a new structural style and makes the structure optimization design and simulation calculation.
分析了硅基谐振式微机械加速度计的工作机理,提出了一种新颖的结构形式,进行了结构的优化设计和仿真计算。
补充资料:加速度计
      测量加速度的仪表。加速度测量是工程技术提出的重要课题。当物体具有很大的加速度时,物体及其所载的仪器设备和其他无相对加速度的物体均受到能产生同样大的加速度的力,即受到动载荷。欲知动载荷就要测出加速度。其次,要知道各瞬时飞机、火箭和舰艇所在的空间位置,可通过惯性导航(见陀螺平台惯性导航系统)连续地测出其加速度,然后经过积分运算得到速度分量,再次积分得到一个方向的位置坐标信号,而三个坐标方向的仪器测量结果就综合出运动曲线并给出每瞬时航行器所在的空间位置。再如某些控制系统中,常需要加速度信号作为产生控制作用所需的信息的一部分,这里也出现连续地测量加速度的问题。能连续地给出加速度信号的装置称为加速度传感器。
  
  常见加速度计的构件如下:外壳(与被测物体固连)、参考质量、敏感元件、信号输出器等。加速度计要求有一定量程和精确度、敏感性等,这些要求在某种程度上往往是矛盾的。以不同原理为依据的加速度计,其量程不同(从几个g到几十万个g),它们对交变加速度频率的敏感性也各不相同。常见的加速度计所依据的原理有:①参考质量由弹簧与壳体相连(见图),它和壳体的相对位移反映出加速度分量的大小,这个信号通过电位器以电压量输出;②参考质量由弹性细杆与壳体固连,加速度引起的动载荷使杆变形,用应变电阻丝感应变形的大小,其输出量是正比于加速度分量大小的电信号;③参考质量通过压电元件与壳体固连,质量的动载荷对压电元件产生压力,压电元件输出与压力即加速度分量成比例的电信号;④参考质量由弹簧与壳体连接,放在线圈内部,反映加速度分量大小的位移改变线圈的电感,从而输出与加速度成正比的电信号。此外,尚有伺服类型的加速度计,其中引入一个反馈回路,以提高测量的精度。为了测出在平面或空间的加速度矢量,需要两个或三个加速度计,各测量一个加速度分量。
  
  角加速度计的原理类似加速度计,它的外盒装在转动物体上,由于角加速度,在参考质量上产生切向动载荷,可输出与切向加速度或角加速度大小成比例的信号。随被测运动物体和测量要求的不同,加速度计有各种原理和实现方式。如在飞行器上,有按陀螺原理设计的陀螺加速度仪等。
  
  

参考书目
   D.N.Keast, Measurement in Mechanical Dynamics,McGraw-Hill,New York,1967.
  

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