1) Silica-on-silicon

硅基二氧化硅
1.
A 1×32 silica-on-silicon-based arrayed waveguide grating is designed and fabricated.

采用高精度光刻版、PECVD材料生长、反应离子刻蚀和端面8°角抛光等技术,设计并研制了1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅。
2) SiO2 on Si

硅基二氧化硅
1.
5 dB by using the SiO2 on Silicon substrate whose transmission loss is 0.

01dB/cm的硅基二氧化硅材料,有效的降低了谐振腔内部的损耗,使得谐振腔内损耗仅为0。
4) SiO_2-Si

二氧化硅-硅
补充资料:3-(三乙氧基硅烷基)丙胺、二氧化硅的水解产物
CAS:71888-97-6
分子式:C9H23NO3Si·O2Si
中文名称:3-(三乙氧基硅烷基)丙胺、二氧化硅的水解产物
英文名称:1-Propanamine, 3-(triethoxysilyl)-, hydrolysis products with silica
Silica, reaction product with 3-(triethoxysilyl)propylamine
分子式:C9H23NO3Si·O2Si
中文名称:3-(三乙氧基硅烷基)丙胺、二氧化硅的水解产物
英文名称:1-Propanamine, 3-(triethoxysilyl)-, hydrolysis products with silica
Silica, reaction product with 3-(triethoxysilyl)propylamine
说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。
参考词条