1) 3D ultra-micropositioning
三维超微定位
1.
The Paper proposes 3D ultra-micropositioning mechanism,which is composed of flexible hinge mechanism and piezoelectric actuator.
提出一种以柔性铰链结构为导向机构、压电陶瓷为驱动器的三维超微定位工作台,对三维超微定位工作台的非线性和动态特性的问题进行了研究,提出改善方法以提高系统的定位性能。
2) 3-D ultra-precise micro-positioning
三维超精微定位
3) 3D monolithic ultra-micropositioning mechanism
三维一体化超微定位台
4) 3 D micropositioning
三维微定位
6) Three-dimension supersonic analysis technique
三维超声定位技术
补充资料：LF型内藏分级立式超微粉碎机
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参考词条