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1)  electrostatically actuated MEMS
MEMS静电驱动
1.
The kinetic characteristic of the parallel plate structure in electrostatically actuated MEMS was analyzed by the state space method.
采用状态空间分析法,研究MEMS静电驱动平行板结构的运动特性,实现了平行板机械子系统和静电子系统状态空间矩阵参数分离,制定了状态反馈控制方案以改善平行板系统的运动特性,在Simulink仿真平台上完成了控制方案的计算机仿真实验。
2)  MEMS comb-drive actuator
MEMS静电梳齿驱动器
1.
Design of MEMS comb-drive actuator for large-displacement and low-voltage;
大位移、低电压驱动MEMS静电梳齿驱动器的设计与研究
3)  electrostatic actuation
静电驱动
1.
The method of electrostatic actuation and induced electromotive force(EMF) detection were put forward according to the structural feature of the nano-beam.
利用氧化、光刻、刻蚀、溅射等传统MEMS加工工艺,在绝缘衬底上的硅(SOI)基片上制作出一种厚度只有50 nm的双端固支结构的硅纳米谐振梁;在实验室条件下,针对实验中谐振梁的结构特点,提出了静电激励与感生电动势检测(EMF)的测量方法,并利用专业的Conventorware MEMS仿真软件及ANSYS有限元分析软件,定量地给出合适的静电驱动电压,同时初步估算了梁谐振时将会产生的感生电动势的大小,并对此分析结果提出了相应的测试电路,为下一步对这种超薄纳米梁的实际测试工作提供了可行性的理论参考。
2.
In the design of Micro-Electromechanical Systems CMEMS) devices, an important method is called the electrostatic actuation, which is based on an electrostatic-controlled tunablecapacitor.
在微机电系统(MEMS)装置设计方面,一种很重要的方法被称为静电驱动。
4)  electrostatically actuated
静电驱动
1.
Electrostatically actuated microelectromechanical deformable mirrors;
一种静电驱动微机械变形反射镜
2.
An electrostatically actuated micromechanical beam was developed as the basic structural unit of a programmable phase grating based on microoptoelectromechanical systems (MOEMS).
静电驱动的微机械装置是许多微机电系统(MEMS)中的重要模块。
5)  electrostatic actuating
静电驱动
1.
The design of structure was put forward from the theory of electrostatic actuating and some aspect associated with the process such as etching and bonding were discussed in details.
从静电驱动的角度阐述此种反射镜的结构设计原理,并对具体加工中的腐蚀和键合工艺进行了详细讨论。
6)  electrostatic drive
静电驱动
1.
The electrostatic drive mechanism is the most popular and standard design of microactuators due to its simplicity and improved range of linearity.
由于静电驱动具有结构简单、响应时间短和功耗小等优点,在微执行器中得到了广泛的应用。
2.
Finally we give analytical results of electrostatic drive based on different structures.
并根据不同结构 ,给出了静电驱动等方面的分析结果。
补充资料:《多回转阀门驱动装置的连接》二项标准介绍

一、概述

    目前我国主要有两项阀门驱动装置的连接标准,即GB/T 12222-2005 《多回转阀门驱动装置的连接》和GB/T12223-2005 《部分回转阀门驱动装置的连接》,这两项标准均是今年2月21日批准发布的,实施日期是2005年8月1日。

    该两项标准在1989年第一次制定时就分别采用了ISO 5210和ISO5211标准,2005年新标准是对原1989年标准的修订,也同样修改采用(等效)了ISO5210和ISO5211的新版本。

    两项标准主要规定了阀门驱动装置的术语和定义,法兰代号和与其相对应的最大转矩,与阀门连接的法兰尺寸,驱动件的结构形式和尺寸。《多回转阀门驱动装置的连接》还规定了与其相对应的最大推力。

    《多回转阀门驱动装置的连接》主要适用于闸阀、截止阀、节流阀和隔膜阀用驱动装置与阀门的连接尺寸。《部分回转阀门驱动装置的连接》主要适用于球阀、蝶阀和旋塞阀用驱动装置与阀门的连接尺寸。两标准的连接尺寸也适用于驱动装置与齿轮箱、齿轮箱与阀门的连接。

    二、《多回转阀门驱动装置的连接》新老标准的主要区别

    1、新标准增加了F12代号的法兰,新增加的F12代号的法兰能传递的最大转矩值为250N•m,推力值为70kN。F12法兰的尺寸见下表:

法兰代号
d1
d2(f8)
d3
d4
hmax
h1min
螺栓或螺孔数量
F12
150
85
125
M12
3
18
4

    2、新标准对螺栓孔的位置分布提出了要求,即标准中“5.6  螺柱或螺栓孔应错开驱动装置的轴线对称分布。如图2所示”,增加了图2。老标准中没有示意图。

    新标准中的图2:

阀门标准图纸

法兰代号
α/2
F07~F16
45°
F25~F40
22.5°
3、新标准将原标准附录A的内容添加入正文内,原标准附录A1的内容(图)作为新标准“6.1既能传递转矩又能承受推力驱动件”的内容(包括图4);原标准附录A2的内容(图)作为新标准“6.2仅能传递转矩的驱动件”的内容(包括图6)。

    新标准无附录。

    4、新标准还增加了如下条款:

    “3.5 法兰代号(该术语原标准在连接尺寸表的注释中)。
   5.2 驱动装置与阀门相连接的法兰,应采用带定位凸肩法兰,其配合尺寸按表2中d2要求。
   5.4 阀门与驱动装置相连接的螺纹长度最小值按表2的h1的规定。
   5.5 法兰外圆尺寸,按表2的d1规定(为最小值)。”

    在以上几条中,图1及表2中已明确表示了5.2条、5.4条的规定,但未明确5.5条中d1为最小值。

    5、新标准增加了“表1  法兰代号-最大转矩和最大推力值”的注4和注5。即:

    “注:4  以上计算参数的变化将导致可传动转矩和推力值的变化。

    5  具体应用时,法兰代号的选择应考虑因惯性或其他类似因素而在阀杆上产生的附加转矩”。

    老标准中只加注了前三个。

    三、《部分回转阀门驱动装置的连接》新老标准的主要区别

    1、新标准增加了F60代号的法兰,新增加的F60代号的法兰能传递的最大转矩值为250000N•m。F60法兰的尺寸见下表:

法兰代号
d1
d2(f8)
d3
d4
hmax
h1min
螺栓或螺孔数量
F60
686
470
603
M36
8
54
20

    2、新老标准能传递最大转矩的假定条件及叙述有变化。

    新标准的表注为:

    “注1:本表中规定的转矩值是根据:螺栓承受的拉力为290N/mm2,法兰面之间的摩擦系数为0.2而确定的。
    2:具体应用时,法兰代号的选择应考虑因惯性或其他类似因素而在阀杆上产生的附加转矩”。

    老标准的表注为:

   “注:表中转矩来自以下的假定:
    a. 螺栓的力学性能等级为8.8级,屈服强度为640N/mm2,许用应力为20N/mm2;
    b. 螺栓只承受拉力,不考虑拧紧螺栓时引起的附加应力;
    c. 法兰面之间的摩擦系数为0.3。”

3、新标准增加了整个第4章节“连接型式表示方法”的全部内容。

    4、按照新的法兰标准和国际标准,新标准中F03和F04法兰的尺寸与老标准不同。如下表:

法兰代号
d1
d2(f8)
d3
d4
hmax
h1min
螺栓或螺孔数
F03
46
25
36
M5(M6)
3(2)
8(9)
4
F04
54
30
42
M5(M6)
3(2)
8(9)
4

    表中括号内为原标准尺寸。

说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。
参考词条