1) DMD(digital micro device)
散字微反射镜
2) DMD
数字微反射镜
1.
The input micro-patterns in the digital micro-mirror device(DMD)are imaged on the photoresist plate using reduction interferential optical devices in the laser direct writing system.
通过将数字微反射镜(Digital Micro-mirror Device,DMD)输入阵列图形微缩干涉成像,激光干涉直写系统在光刻胶板上得到缩小的干涉光斑图形,像素特征尺寸3。
2.
A method of fabricating light guided plates (LGP) is presented, based on DMD micro-lithography and micro-imprint technique.
第四部分提出了一种采用数字微反射镜(DMD)作为输入的并行光刻系统制作导光板的方法。
3) digital micromirror device (DMD)
数字微反射镜(DMD)
4) micromirror
微反射镜
1.
Experimental study on characteristics of bulk micromachined micromirror;
基于体硅工艺的微反射镜的原理性实验
2.
This paper investigates a bright nickel plating technique for the fabrication of micromirror.
研究了一种可用于微反射镜制作的光亮镀镍工艺。
3.
The etched(110) planes become smooth and reaction residues on the micromirrors can be removed in this mixture.
采用KOH溶液湿法腐蚀制作阵列光开关的微反射镜上电极。
5) micro-mirror
微反射镜
1.
Technical study of micro-mirror based on PZT films in adaptive optics;
微光学自适应技术中基于PZT薄膜的微反射镜工艺研究
2.
Machining and functional testing of adaptive micro-mirror array;
自适应微反射镜阵列制作与性能测试
3.
A novel adjustable focal-length optical adaptive micro-mirror based on bi-mental effect is presented.
以硅为基底进行了表面热氧化、光刻显影、HF酸刻蚀、KOH湿法刻蚀,溅射铝膜等微加工工艺的研究,获得硅铝双金属可调焦微反射镜4×4阵列,单元尺寸3 mm×3 mm,单晶硅基底厚60μm,硅表面溅射的铝膜厚150 nm。
6) Reflective micromirror
微反射镜
1.
Using the KOH+IPA solution with 50% concentration of KOH and a one level mask, the reflective micromirror and fiber.
使用KOH浓度为 50 %的KOH +IPA溶液 ,在 ( 1 0 0 )硅片上一次掩模制作微反射镜和光纤自对准V型槽 ,微镜的表面粗糙度低于 1 0nm。
补充资料：醴泉东谿送程皓、元镜微入蜀（得寒字）
【诗文】：
蜀郡路漫漫，梁州过七盘。
二人来信宿，一县醉衣冠。
谿逼春衫冷，林交宴席寒。
西南如喷酒，遥向雨中看。
【注释】：
【出处】：
全唐诗：卷200_43
蜀郡路漫漫，梁州过七盘。
二人来信宿，一县醉衣冠。
谿逼春衫冷，林交宴席寒。
西南如喷酒，遥向雨中看。
【注释】：
【出处】：
全唐诗：卷200_43
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