1) scanning projection lithography tool
扫描投影光刻机
2) step-and-scan lithography system
步进扫描投影光刻机
1.
Recent progress in technology of wafer stage and reticle stage used in step-and-scan lithography system is introduced, and the overlay accuracy and the accuracy of the overall system are analyzed.
着重介绍了当前国外步进扫描投影光刻机的工件台和掩模台的发展状况,并对套刻精度和整机精度进行了分析。
3) Scan projection mask alignment system
扫描投影式光刻机
4) step-and-scan lithography
步进扫描投影光刻
1.
Exposure dose control for step-and-scan lithography;
步进扫描投影光刻机中的曝光剂量控制技术研究
5) Stepper
[英]['stepə] [美]['stɛpɚ]
投影光刻机
1.
The Key Craftwork and Technique of Assembling and Adjusting of Projective Lens of Stepper;
投影光刻机镜头的装校关键工艺与技术
补充资料：投影光刻
分子式：
CAS号：
性质：一种把图像投影在光敏材料上的方法。它可免于光学掩模版和光敏材料涂层的接触。
CAS号：
性质：一种把图像投影在光敏材料上的方法。它可免于光学掩模版和光敏材料涂层的接触。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条