1) super purification control system
超净化控制系统
1.
A kind of super purification control system which can realize the high spotless environment for LSI s manufacturing is introduced.
介绍了一种实现大规模集成电路 (LSI)无尘生产环境的超净化控制系统 ,该系统的现场控制回路采用了先进的仿人工智能PID控制算法 ,这种算法避免了系统反馈滞后的振荡缺陷 ,利用LonWorks的网络技术 ,实现整体净化系统的智能化、可视化控制。
2) emission controller
废气净化系统控制器
3) Super Purified Treatment System
超净化处理系统
4) Water system controller
净水系统控制器
5) ultrafiltration control system
超滤控制系统
6) ultrasonic control system
超声控制系统
补充资料：反馈控制(见控制系统)
反馈控制(见控制系统)
feedback control
于。。伙。]伙ongZ片}反馈控制(几edbaekcontrol)见拉制系统。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条