1) Wheel Scan
轮扫描
2) multiface scanning wheel
多面扫描轮
3) rotating scanning wheel
旋转扫描轮
4) method of sequence scan in groups
分组轮回扫描法
5) the outline tracking scan
轮廓跟踪扫描
6) Scanning White-light Interfeerometry profilometer
白光扫描干涉轮廓仪
1.
This paper presents a Z direction micro-displacement platform with diffraction grating interference displacement sensor , the position accuracy is obtained in the Scanning White-light Interfeerometry profilometer.
本文介绍了一种以衍射光栅作为计量标准器的垂直方向上的微位移工作台,用来实现在白光扫描干涉轮廓仪的表面形貌测量中Z方向上的精密定位,该工作台实现了轮廓仪的闭环测量和控制,文章重点讲述了光栅信号处理的硬件及软件细分技术,以及压电陶瓷驱动电路的原理和工作台闭环定位控制的流程。
补充资料：扫描电子显微镜(见扫描电子显微术)
扫描电子显微镜(见扫描电子显微术)
scanning eleetron mieroseoPe
扫描电子显微镜scanning eleetron mieroseope见扫描电子显微术。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条