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1)  draft of emulating proof
仿真打样工艺
2)  process simulation
工艺仿真
3)  processing technology and simulation
加工工艺与仿真
4)  fabrication procedure
器件工艺仿真
5)  Simulated process flowchart
仿真工艺流程图
6)  process geometric simulation
工艺几何仿真
1.
As a key technology of MEMS CAD, MEMS process geometric simulation from process and layout is a requirement of top-down design and bottom-up verification in the MEMS integrated design platform.
MEMS工艺几何仿真是MEMS CAD关键技术之一。
补充资料:打样
      用照相方法或电子分色机所制得并作了适当修整的底片,在印刷前印成校样或用其他方法显示制版效果的工艺。其目的有三:①供制版人员检查制版质量是否与原稿相符;②供出版单位校对并签字付印,作为交货质量标准;③在印刷过程中作为产品应达到的标准依据。
  
  原则上,打样时所用的诸如纸张、油墨、印刷机等均应与印刷时条件一致,才能保证印刷所得产品与打样相同。但由于所需样张很少, 如果用正式印刷机,纸张、油墨浪费很大。因此,不同印刷方法都有专用打样机。胶印是在图像印刷中应用最多的,胶印打样机的品种也最多。常用的是平台式,一般为单色,也有双色或四色的。
  
  20世纪70年代以来,出现了各式打样方法,可概括为2类:①软打样。将分色的效果显示在电子显视屏上,作为制版工作粗略的参考,据以衡量是否在分色片上再作修整;②硬打样。用不同方法在纸或片基上印刷出彩色图像的校样,可以送交出版单位校对付印。至80年代最普遍应用的仍是打样机打样。此外,一些感光材料厂及化工厂发明了多种打样方法。如美国明尼苏达矿业与制造公司的科罗基、马切普林特、柯达公司的彩色打样法;杜邦公司的克罗马林色粉打样法等。
  

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