1) line width roughness(LWR)
线宽粗糙度
2) roughness width
粗糙度宽度
3) roughness profile
粗糙度曲线
1.
In this paper,the pattern parameters of roughness profile were analyzed.
本文分析了机械加工表面的粗糙度曲线形貌参数的统计特征。
2.
A new model of thermal contact resistance based on the statistic characteristic of roughness profile is proposed in this paper.
本文在对粗糙度曲线统计特征分析的基础上,提出了一种接触热阻的计算模型。
3.
Using wavelet transform, the roughness profiles are extracted.
测量了一般机械加工表面的轮廓曲线,基于小波变换提取了粗糙度曲线,分析了轮廓高度和接触峰高度的统计分布特征。
4) line edge roughness
线边缘粗糙度
1.
The background (reason) why line edge roughness is raised up, as well as the definition of line edge roughness according to ITRS is discussed.
详细论述了刻线边缘粗糙度问题的产生原因,线边缘粗糙度的定义以及目前采用的测量方法和分析方法,比较了线边缘粗糙度的测量工具,并讨论了测量线边缘粗糙度的技术障碍。
2.
To obtain a metrology method for line edge roughness (LER) detection and characterization using atomic force microscope(AFM), a LER quantificational method using image processing theory was presented, which is used to analyze AFM images of silicon lines and extract LER characteristics.
针对使用原子力显微镜测量纳米尺度半导体刻线边缘粗糙度的参数表征问题进行了研究。
5) roughness
[英]['rʌfnis] [美]['rʌfnɪs]
粗度，粗糙度
6) surface roughness
粗糙度
1.
Experimental study of flow characteristics in microchannels with different surface roughness;
粗糙度对微细通道内流动特性影响的实验研究
2.
Modeling and predicting surface roughness of diamond wire-sawing;
金刚石线锯加工表面粗糙度的建模与预测
3.
The computerized change of surface roughness measuring instrument model 2201;
2201型表面粗糙度检查仪微机化改造
补充资料：Pro/Engineer Drawing 表面粗糙度
1 概述
我们可以添加标准形式的表面粗糙度，下面列出了这些标准形式
Generic 切削加工 非加工
no_value
standard value value value
7.3.2 添加表面粗糙度
选择 DETAIL> Create > Surf Finish.
如果你还没有添加任何一种表面粗糙度，或者需要添加另一种类型的表面粗糙度，你需要“Retrieve”表面粗糙度；如果你需要添加已经存在的类型，你可以使用"pick Inst"选项；也可以使用"Name"选项
选择表面粗糙度的放置方式（有引线箭头、附着实体等）
选择需要的放置实体
输入表面粗糙度的值
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条