1) analysis of the exposure dose

曝光量分布分析
2) exposure dose distribution

曝光量分布
1.
On the basis of analyzing the effect of the S-curve parameter variation on the joint quality,the optimized interrelationship of the radian θ and the radius R used in the control model was established considering it to be optimal when the exposure dose distribution got an extremum at one point.
在分析S曲线光强控制模型的参数变化对线条闭合质量影响的基础上,以对接区域曝光量分布曲线恰好存在一个极值点时为最优,确定出光强控制模型中的圆弧弧度θ和曲率半径R的函数关系。
3) layout of exposure field

曝光场分布
4) light distribution analyze

光强分布分析
5) light distribution measurement

光分布测量
补充资料:分布和特征量统计(见统计分析)
分布和特征量统计(见统计分析)
fenbu he tezhengliang tongjj分布和特征量统计见统计分析。
说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。
参考词条