1) grating metrology system
衍射光栅计量系统
1.
This paper presents a new non-contact displacement sensor with diffraction grating metrology system based on an improved Foucault focus detection method.
本文介绍了一种新型的基于改进傅科聚焦探测法且自带衍射光栅计量系统的非接触式位移传感器。
2) grating testing system
光栅计量系统
3) grating diffraction
光栅衍射
1.
Comparison of amplitude vector method and half-wave spectrum method to analyze grating diffraction;
振幅矢量法与半波带法分析光栅衍射的比较
2.
Analyses of grating diffraction by computer simulation;
光栅衍射现象的计算机仿真分析
3.
Testifying secondary maximum among slits interference item of grating diffraction is symmetrical with Fresnel Zone Plate Method;
光栅衍射缝间干涉因子次极大强度对称性的菲涅耳半波带法证明
4) Diffraction grating
衍射光栅
1.
Study of the photoelectric ruling control on the fabricating of the high density diffraction grating;
制作高密度衍射光栅的光电式刻划控制的研究
2.
Super-fine Diamond Tools for Ruling Diffraction Gratings;
超精密金刚石刀具──衍射光栅刻划刀
3.
The second kind angular dispersion and the analysis of characteristics of diffraction grating;
衍射光栅的第二类角色散及其特性分析
6) diffraction gratings
衍射光栅
1.
The large-size diffraction gratings have become the key unit of some major engineering.
近年来大面积衍射光栅已成为许多大型高技术工程项目的关键元件 ,它的获取方法也一直是光栅界探求的目标 ,本文简要回顾衍射光栅研制技术的发展历史 ,介绍了衍射光栅的发展趋势以及国内外研制大面积衍射光栅的技术现状 ,说明了拼接光栅的原理、方法以及利用这种方法来获取大面积衍射光栅的诸多优点。
2.
An asymptotic formalism used in the scalar domain is derived for studying the behavior of threedimension diffraction gratings used in small groove pitch and near normal incidence for soft X-ray.
利用标量区衍射理论分析了正交二元矩形软Ｘ射线衍射光栅的光学特性，给出了理论设计的初步结果。
3.
In this paper the study on the dispersion theory, design, manufacture techniques, and efficiency test methods of diffraction gratings were made in a deep way.
本文对衍射光栅色散理论与光栅设计、制作工艺和效率检验方法做了较为深入的研究。
补充资料：激光衍射计量技术
激光衍射计量技术
laser diffraction measuring technique
i心uang yonshe iijiong iishu激光衍射计t技术(1~diffiaCtion~ngtec俪que)利用激光衍射条纹的变化精密测量长度、角度、轮廓的一种全场计量方法。 激光衍射计量利用的是激光的远场衍射效应，即夫琅和费衍射。激光照射被测量(如狭缝、圆孔等)后，将产生衍射条纹，如图所示。利用激光衍射系统进行精密测量有两种方法:①记录固定点的衍射强度(如图a中A和B点);②记录衍射条纹极值点之间的距离(如图b中‘)。根据测得的衍射条纹信息，通过衍射公式，可求出被测量值。在实际应用中常用的激光衍射计t技术有:①间隙计量法，主要用于尺寸的比较侧t、工作形状的轮廓测量及应变测量等;②反射衍射法，主要用于表面质量评价、直线性评定、间隙测定等;③分离间隙法，主要用于液体折射率测量、薄膜材料厚激光衍射条纹示意图度及表面涂层厚度的测量等;④互补测量，用于细丝(金属丝、光导纤维及各种合成纤维丝等)或薄片(游丝等)的测量;⑤艾里斑测量，主要用于徽孔直径的测量。激光衍射测量灵敏度高，现已达0.1脚，测t准确度一般小于0.1%，装置简单，操作方便，可实现动态联机测t和全场测量。但其绝对量程比较小，量程范围约为0.01~一1.5~。(刘庆纲)
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条