补充资料：电子级六氟化钼

分子式：MoF₆  
CAS号：

性质：白色结晶固体，吸湿性强，与水反应发出嗤声，在潮湿空气中生成蓝色的烟。六氟化钼是一种强氧化剂，有毒，TLV5mg/m3。液体密度2543kg/m3(19℃)。沸点35℃。熔点17.5℃。其制法是采用高纯金属钼粉直接氟化工艺，反应产物经过三级回收，其中六氟化钼粗品在-5～50℃回收，经过真空蒸馏，可制取电子级六氟化钼产品。六氟化钼在微电子工业中用作化学气相沉积硅化钼或钼膜，制作低电阻、高熔点的电路互连线和栅极。

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