1) pattern heating
局部屏蔽加热
2) partial shield
局部屏蔽
3) partial shielding
局部屏蔽法
4) partial shield
局部屏蔽体
5) bottom thermal shield
底部热屏蔽
6) local electric field shield
局部电场屏蔽
1.
This paper introduced a new local electric field shield method, which could overcome the effects of electrostatic force on the MEMS sense film during Si -glass electrostatic bonding processes.
针对带弹性敏感薄膜结构的微机械器件的硅/玻璃静电键合,介绍了一种有效的方法——局部电场屏蔽法,在键合过程中屏蔽弹性敏感薄膜所在位置的电场,使薄膜结构不受静电力的影响,从根本上解决了薄膜受静电吸引力而产生形变,与玻璃贴合甚至破裂的问题,大大提高了成品率。
补充资料：超导磁屏蔽（superconductingmagneticshield）
超导磁屏蔽（superconductingmagneticshield）
处于超导态的厚壁多连通超导体，若原先空腔中无磁场存在，在外加小于临界磁场的磁场后，由于有产生逆磁的屏蔽环电流而磁场不能进入腔内，起到磁场屏蔽的作用，称超导磁屏蔽。例如对空心超导圆柱体，则磁场不能进入圆柱空腔，况且，即使圆柱壁厚d≤λL，只要内半径`r\gt\gt\lambda_L`，也可起到屏蔽磁场进入空腔的作用。这里λL是伦敦穿透深度。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条