1) dished plate
碟形板
2) dished head
碟形端板
3) plate spring column
板(碟)形弹簧圆柱
4) dish plate
碟形板浮渣盘
5) dishing
[英][diʃ] [美][dɪʃ]
碟形
1.
The major problem in Cu CMP is dishing, serious dishing will cause the procduct yield loss.
铜化学机械抛光是近些年发展最快的一种工艺,铜碟形是铜化学机械抛光工艺中的主要问题之一。
2.
The sur-face defects such as dishing, erosion can reduce the thickness of copper interconnection and en-large electrical resistance, reduce both the performance and the reliability of device, further influ-ence WIWUN which cause imprecise pattern transfer in the multi-layer interconnect.
本文介绍了对Cu-CMP平坦性的仿真、模拟和实验研究,并着重分析了碟形、侵蚀和WIWUN与抛光液、线宽和图案密度、抛光速度和载荷等相关参数的关系。
6) boiler dished end plate
锅炉鼓筒碟形端板
补充资料：神人纹圆柱形玉器(新石器时代)
浙江余杭出土。良渚文化玉器品种十余个，此种神人纹圆柱造型只有一个。
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参考词条