1) ultra large scale integration (ULSI)
甚超大规模集成电路
2) ULSI
甚大规模集成电路
1.
Investigation on the Final Polishing of Silicon Substrate in ULSI;
甚大规模集成电路制备中硅衬底精密抛光的研究
2.
The copper chemical-mechanical polishing (CMP) which is the key planarization technology for ULSI manufacturing was discussed.
对用于甚大规模集成电路(ULSI)制造的关键平坦化工艺———铜化学机械抛光(CMP)技术进行了讨论。
3) OE-VLSI
光电超大规模集成电路
4) ULSI
超大规模集成电路
1.
Copper Electrodeposition in ULSI;
超大规模集成电路中的电沉积铜
2.
Study on Polishing Slurry for Silicon Substrate in ULSI;
超大规模集成电路制备中硅衬底抛光液研究
3.
An Energy Transfer Photochemical Model for the Abatement of Total Organic Carbon in High Purity Water Used in ULSI Fabrication;
降低超大规模集成电路用高纯水中总有机碳的能量传递光化学模型
5) ultra large scale integrated circuit
超大规模集成电路(ULSI)
6) VLSI
超大规模集成电路
1.
Research on VLSI Gridless Routing Algorithm;
超大规模集成电路无网格布线算法研究
2.
Application and Advances of Reliability Technology in VLSI;
超大规模集成电路中的可靠性技术应用与发展
3.
Research on Power Grid Integrity Analysis of VLSI;
超大规模集成电路电源网格完整性分析研究
补充资料：MOS集成电路
见金属-氧化物-半导体集成电路。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条