1) native substrate

同质衬底
3) substrate material

衬底材质
1.
Effects of substrate material and surface roughness on the structure of SnO_2 films;

衬底材质及表面粗糙度对SnO_2薄膜结构的影响
5) substrate impurity

衬底杂质
6) dielectric on a substrate

有衬底介质
补充资料:同质
1.谓本质相同。
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参考词条