1) shallow-trench isolation
浅槽隔离
2) DSTI
浅沟槽隔离
1.
The most applied CMP technology is DSTI CMP and CeO2 slurry is most popularin DSTI ma nufacturing, but the disad vantage of this type slurry is polishing time longerand reduce tool’s available time.
化学机械抛光工艺中应用较为广泛的是浅沟槽隔离层的抛光，新兴的工业生产中多采用二氧化铈研磨浆，但其研磨的工艺时间较长，大大减少了机台的利用率。
3) shallow trench isolation(STI)
浅沟槽隔离(STI)
5) isolation grooves
隔离沟槽
1.
The reasonable size of isolation grooves on the top surface of AlGaInP-LED arrays is analysed.
分析了发光二极管阵列上隔离沟槽的理想尺寸。
6) electrical isolation trenches
电隔离槽
1.
A novel technique to fabricate ultra deep high aspect ratio electrical isolation trenches with DRIE and dielectric refill is presented.
电隔离槽宽 5 μm ,深 92 μm ,侧壁上有 0 5 μm厚的氧化层作为电隔离材料 。
补充资料：水沟槽
水沟槽 家具面板与边抹攒合时，面板与边抹间形成一周约l厘米左右的凹槽，以免面板伸缩开裂。凹槽俗称“水沟槽”。现在硬木家具的桌面、炕几面等大多采用水沟槽做法。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条