1) reticle width spacing
分度线宽间距
2) conductor line/space
导线宽度/间距
3) metal strip width and space
金属线宽与间距
4) crack spacing and width
裂缝间距和宽度
5) crack width and spacing
裂缝宽度和间距
6) flangesettingwidth
边盘间距宽度
补充资料：IC工艺线宽
线宽:4微米/1微米/0.6微未/0.35微米/035微米等,是指IC生产工艺可达到的最小导线宽度,是IC工艺先进水平的主要指标.线宽越小,集成度就高,在同一面积上就集成更多电路单元.
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条