补充资料：聚酯光刻胶

分子式：
CAS号：

性质：  聚酯型光刻胶的化学组成为聚亚肉桂基丙二酸乙二醇酯，是一种具有高分辨率的负性抗蚀剂。它的抗蚀性能好，与SiO₂及铝表面有较强的黏附力，分辨率可达1μm，用于高分辨率光刻工艺中。制备聚亚肉桂基丙二酸乙二醇酯，一般先以肉桂醛与丙二酸在吡啶催化下缩合成亚肉桂基丙二酸，再以对甲苯磺酸为缩聚催化剂，由亚肉桂基丙二酸和乙二醇直接缩合制得。

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