2) non-oil ultra high vacuum system
无油超高真空系统
1.
Abstract: The structures and operating methods of turbo molecular pump with non-oil ultra high vacuum system and sputter ion pump with non-oil ultra high vacuum system are introduced, and their relevant characters are discussed.
对涡轮分子泵无油超高真空系统及溅射离子泵无油超高真空系统的结构及操作方法作了介绍，并对它们相关的特性进行了讨论。
3) oil-free vacuum
无油真空
1.
Application of oil-free vacuum leak detection system in space environment simulation test;
无油真空检漏系统在空间环境模拟试验中的应用
2.
Meanwhile,a set of fault diagnosis methods adapted to the oil-free vacuum.
同时，找到了一套适用于无油真空系统的故障诊断方法。
4) main fuel system & vacuum reriched system
主油系及真空加泷系统
5) oilless vacuum pump
无油真空泵
6) Vacuum system
真空系统
1.
On the design of vacuum system for external refining equipment of molten steel;
钢液炉外精炼设备真空系统的设计分析
2.
Analysis and improvement measures for vacuum system in titanium powder plant;
钛白粉厂真空系统故障诊断及改进措施
3.
Researches and Applications of the Waste Gas Treatment Plan for Vacuum Systems;
真空系统废气处理方案研究与应用
补充资料：超高真空
分子式：
CAS号：
性质：压力低于10-6Pa的气态空间。在超高真空条件下可以获得免于污染的清洁固体表面。现在多用无油超高真空系统产生。该系统主要由预抽泵、主体泵和金属阀门组成。常用的预抽泵有分子筛吸附泵或机械泵加分子筛吸附阱。主体泵有钛泵、钛升华泵、弹道式钛泵等，真空度可达10-9Pa。
CAS号：
性质：压力低于10-6Pa的气态空间。在超高真空条件下可以获得免于污染的清洁固体表面。现在多用无油超高真空系统产生。该系统主要由预抽泵、主体泵和金属阀门组成。常用的预抽泵有分子筛吸附泵或机械泵加分子筛吸附阱。主体泵有钛泵、钛升华泵、弹道式钛泵等，真空度可达10-9Pa。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条