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1)  Silicon bulk micromachining technology
体硅微机械工艺
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2)  Micromachining process
微机械工艺
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3)  Bulk Micromachine
体硅微机械
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4)  miromaching
微机械加工工艺
5)  bulk silicon micromachining
体硅微加工工艺
6)  micromachining processing
硅微机械加工
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补充资料：氮化硅纤维增强体(见氮化硅纤维)


氮化硅纤维增强体(见氮化硅纤维)
silicon nitride fibres reinforcements

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